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項 目 名
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セクショナル形式
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カートリッジ形式
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| ａ. ウエヤー板の高さ | ±1.5mm | ±1.5mm |
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b. ウエヤー板の頂辺真直度 |
1.0mm | 1.0mm |
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c. バッフル板の高さ |
±2.0mm | ±2.0mm |
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d. ダウンカマーの長さ |
±2.0mm | ±2.0mm |
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e. ライザー中心間距離 |
±2.0mm | ±2.0mm |
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f. ライザー高低差 |
0.5+Ｄ/600 max.6mm |
0.5+Ｄ/600 max.6mm |
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g. バブルキャップ外径 |
±1.0mm | ±1.0mm |
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h. バブルキャップ高さ |
±1.0mm | ±1.0mm |
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i. バブルキャップスロット長さ |
±0.5mm |
±0.5mm |
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j. バブルキャップとフロアー隙間 |
±1.5mm | ±1.5mm |
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k. シーブトレイ孔ピッチ |
±0.25mm |
±0.25mm |
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l. シーブトレイ孔数 |
±1% | ±1% |
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m. シーブトレイ孔径 |
±0.2mm | ±0.2mm |
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n. ビーム上面の高低差 |
1.0+L/1200 max.6mm | |
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o. シーブトレイのフロアー高低差 |
1.0+D/600
max.6mm
Max. permissible strain 3mm |
1.0+D/600 max.6mm |
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p. バブルキャップ上面高低差 |
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q. トレイ外径 |
±(1.5+D/600) max.6mm | +0、-(2.0+D/600) max.-4mm |
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r. トレイピッチスペーサの長さ |
±0.3mm |
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